豪利777

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某某工业设备设计
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高精度电动耦合台

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XYZ:台面尺寸: 125x125mm行程:50mm ;最小步进可以抵达10nm以内 50nm光栅尺反响 ,

最大速度::20mm/s 重复精度: +/-0.01um 高端伺滑台 ,交叉滚柱导轨

θXθYθZ:θXθY角度移动量:±2.5? 最小千分尺刻度: 23"/小格 ,

灵敏度:0.0008度θZ角度移动量:±4? 最小千分尺刻度: 42"/小格 ,灵敏度:0.0015度

交叉滚柱导轨 ,三轴旋转中心设计在光纤端面 ,降低耦合难度 ,提高耦合效率

兼容种种夹具:水平光纤 ,笔直光纤 ,水平光纤阵列 ,笔直光纤阵列 ,lens夹具(真空吸附或者气动夹持)等
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灵敏度:0.0008度θZ角度移动量:±4? 最小千分尺刻度: 42"/小格 ,灵敏度:0.0015度

交叉滚柱导轨 ,三轴旋转中心设计在光纤端面 ,降低耦合难度 ,提高耦合效率

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